BECHEM Avantin 451 zertifiziert nach ASML GSA Grade 2 Molecular Cleanliness

BECHEM Avantin 451 ist der wassermischbarer Kühlschmierstoff für die Bearbeitung von Aluminium, Gusseisen, Nichteisenmetallen, Stahl und Titan und daher sehr gut für die Metallbearbeitung von mechanische Komponenten für lithografische Maschinen zur Herstellung von Mikrochips, wie z. B. von ASML, geeignet. Die Montage erfordert eine extrem hohe Genauigkeit und ein Vakuum, bei dem jedes Bauteil einwandfrei sein muss. Aus diesem Grund setzt ASML extrem hohe Standards für ihre Bauteile in Form von Richtlinien, wie den ASML GSA Grade 2 Molecular Cleanliness, die die Reinheitsanforderungen definieren.

OMNEO Systems trägt mit Zertifizierungen dazu bei, die Qualität der ASML Grade 2-Reinheit zu gewährleisten. Die in der Lieferkette verwendeten Prozessflüssigkeiten müssen gemäß der ASML Grade 2-Richtlinie validiert werden. OMNEO Systems validiert Produktionsprozesse und Prozessflüssigkeiten durch ein Kontaminationskontrollsystem nach festgelegten Standards, wie dem ASML Grade 2 Standard für molekulare Reinheit. Das OMNEO-Zertifikat zeigt an, dass die Prozessflüssigkeit für die Grade 2-Reinigung geeignet ist und garantiert ASML die Qualität und Sauberkeit der Bauteile.

Das OMNEO-Zertifikat bestätigt, dass die Verwendung von BECHEM Avantin 451 die Reinheitsklasse 2 erfüllt. Die Bauteile von lithografischen Maschinen unterliegen sehr strengen Reinheitsanforderungen. Erfüllt ein Bauteil diese Anforderungen nicht, weil in vorhergehenden Bearbeitungsprozessen beispielsweise Flüssigkeiten verwendet wurden, die nicht entfernt werden können, kann das Bauteil nicht verwendet werden. Nicht nur die Endreinigung ist zum Erreichen des ASML-Grade 2 von großer Bedeutung, sondern auch die Prozessflüssigkeiten in den vorangegangenen Bearbeitungsprozessen.